紫外線波面センサー

2NM RMSの高い位相分解能と非常に強い耐振動性を備えた紫外線波面センサーです。また、512×512 ピクセル (262,144 位相点) の解像度を備えており、後部焦点面での干渉測定を実行できます。この技術では、光源のコヒーレンスが低いことが要求され、位相シフトの必要がなくなります。紫外線イメージング システムにより、デバイスはリアルタイムの波面測定が可能です。

商品仕様:

BOJIONG 紫外線波面センサーの特徴

◆UVスペクトル 200nm～450nm帯

◆512×512(262144)位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームと高NA非平行ビームに対応

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

 BOJIONG 紫外線波面センサーの応用

このBOJIONG紫外線波面センサーは、光学系の収差測定、光学系の校正、平面（ウェーハ）表面形状測定、光学球面形状測定などに使用されます。

BOJIONG 紫外線波面センサーの詳細

BOJIONG 紫外線波面センサーは、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許取得済み技術により、回折と干渉を組み合わせて、一般的な 4 波の横方向せん断干渉を実現し、優れた検出感度と耐振動性能を備えています。 、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレーム レートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。