紫外線波面センサー

BOJIONG は、200 ナノメートルから 450 ナノメートルの波長範囲での平面ウェーハ表面形状の波面検出のために、紫外線波面センサーを導入しました。シングルパス自己干渉技術を利用しているため、参照ビームは必要ありません。当社の製品とサービスは、光学製造、航空宇宙、生物医学、エネルギー研究などの分野で広く使用されています。当社は継続的に生産能力を拡大し、技術力を向上させ、強固な企業運営体制を確立しています。

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製品説明

2NM RMSの高い位相分解能と非常に強い耐振動性を備えた紫外線波面センサーです。また、512×512 ピクセル (262,144 位相点) の解像度を備えており、後部焦点面での干渉測定を実行できます。この技術では、光源のコヒーレンスが低いことが要求され、位相シフトの必要がなくなります。紫外線イメージングシステムにより、デバイスはリアルタイムの波面測定が可能です。

商品仕様:

商品名	紫外線波面センサー
波長範囲	200nm～450nm
ターゲットサイズ	13.3mm×13.3mm
空間解像度	26μm
サンプリング解像度	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm（256分）
サンプリングレート	32fps
リアルタイム処理速度	10Hz（フル解像度）
インターフェースの種類	USB3.0
寸法	70mm×46.5mm×68.5mm
重さ	約240g

BOJIONG 紫外線波面センサーの特徴

◆UVスペクトル 200nm～450nm帯

◆512×512(262144)位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームと高NA非平行ビームに対応

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

BOJIONG 紫外線波面センサーの応用

このBOJIONG紫外線波面センサーは、光学系の収差測定、光学系の校正、平面（ウェーハ）表面形状測定、光学球面形状測定などに使用されます。

レーザー光波面検出

補償光学ゼルニケモードの波面検出応答

光学系の収差測定例

光学系校正測定例

ウェーハ表面粗さ測定例

マイクロエッチング形状測定 - 欠陥サンプル1# - 114ライン

BOJIONG 紫外線波面センサーの詳細

BOJIONG 紫外線波面センサーは、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許取得済み技術により、回折と干渉を組み合わせて、一般的な 4 波の横方向せん断干渉を実現し、優れた検出感度と耐振動性能を備えています。、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレームレートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。

FIS4 各シリーズの製品の技術パラメータ

製品	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 クロック	FIS4-HS	FIS4-セル	FIS4-NIR
波長範囲	200～450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900～1200nm
ターゲットサイズ mm2	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
空間解像度	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
画像ピクセル	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
位相出力分解能	512×512 （262144ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）	420×420（176400ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm （256分）	110μm （150分）	162μm （256分）	132μm （210分）	110μm （150分）	270μm （256分）
サンプリングレート	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
リアルタイム処理速度	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)遅延バッチ処理をサポート	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)
インターフェースの種類	USB3.0	チョップ	USB3.0	チョップ	チョップ	USB3.0
外部インターフェース	-	-	-	-	Cポート	-
サイズ mm2	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5
重さ	約240g	約120g	約240g	約120g	約120g	約240g

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