科学研究を支援するように設計されており、高精度の産業シナリオ、解像度が高いほど波面検出でより詳細な情報が得られ、512×512 (262144) 位相ポイントの超高解像度、400 ～ 1100nm の広いスペクトル応答、10 フレームのフル解像度のリアルタイム 3D 結果表示により、理想的な波面センシングが提供されます。レーザー光波面検出、補償光学、平面測定、光学系校正、光学窓検出、光学球面測定ツール測定、表面粗さ検出、表面マイクロコンターなど
FIS4-UHR超高解像度四波干渉計センサー特許取得済みのランダムコーディングされた 4 波回折技術を使用して単一チャネル波面自己干渉を実現し、干渉は後像面位置で発生します。光源のコヒーレンスに対する要件は低く、位相シフトは必要ありません。通常のイメージングシステムで干渉測定が可能です。超高耐振性と超高安定性を備え、防振なしでnmレベルの高精度測定が可能です。マイクロレンズアレイのハルトマンセンサーと比較して、より多くの位相ポイント、より広い適応帯域範囲、より大きなダイナミックレンジを備え、低価格です。
主な特長
◆ 512×512 (262144) 位相ポイントの超高解像度
◆ 単一光路光の自己干渉により参照光は不要
◆ 400nm～1100nm帯の広帯域スペクトル
◆ 2nm RMS の高い位相分解能
◆非常に強い耐振性を持ち、光学防振が不要です。
◆イメージングのような簡単かつ迅速な光路構築
◆平行ビーム、大NA収束ビームをサポート
製品の用途
レーザー光波面検出、補償光学、平面測定、光学系校正、光学窓検出、光学平面、球面測定、表面粗さ検出。
