UV波面センサー 200-450 nm

BOJIONG UV 波面センサー 200 ～ 450 nm は、特許取得済みのランダム コーディング 4 波回折技術と紫外線カメラを統合して、後方像面で干渉を実行するため、光源からの低コヒーレンスが必要となり、位相シフトの必要性がなくなります。このセンサーは、紫外線イメージング システムを利用することで、優れた耐振動性と安定性を備えたリアルタイム波面測定を可能にし、防振を必要とせずにナノメートル レベルの精度を実現します。

アイテムの仕様

BOJIONG 紫外線 4 波干渉計センサーの特徴

◆UVスペクトル 200nm～450nm帯

◆512×512(262144)位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームと高NA非平行ビームに対応

BOJIONG 紫外線 4 波干渉センサーの応用

このBOJIONG紫外四波干渉計センサーは、光学系の収差測定、光学系の校正、平面（ウェーハ）表面形状測定、光学球面形状測定などに使用されます。

BOJIONG 紫外線 4 波干渉計センサーの詳細

浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発されたBOJIONG UV波面センサー200～450 nmは、回折と干渉を組み合わせて4波の横方向せん断干渉を実現する国内の特許技術を利用しています。このセンサーは優れた検出感度と耐振動性能を誇り、防振を必要とせずに10フレーム/秒を超えるフレームレートでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を可能にします。 FIS4 センサーは、512×512 (260,000 位相ポイント) の超高位相分解能、200nm ～ 15μm の測定範囲、2nm の測定感度、1/1000λ (RMS) より優れた測定再現性を備えています。レーザー光品質解析、プラズマ流れ場検出、高速流れ場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに応用可能です。