博江(上海)精密機械科技有限公司
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紫外線4波干渉センサー
  • 紫外線4波干渉センサー紫外線4波干渉センサー

紫外線4波干渉センサー

Bojiong Optoelectronicsは常に波面干渉検出技術に専念しており、現在、大学や研究機関に優れたソリューションを提供し、新世代の紫外線層層センサーを導入しています。当社の製品とサービスは、光学製造、航空宇宙、生物医学、およびエネルギー研究で広く使用されており、顧客が製品の品質と生産効率を向上させるために、光学性能の正確な測定と分析を実施するのに役立ちます。近年、私たちは生産尺度を継続的に拡大し、技術能力を強化し、包括的な企業運営メカニズムを確立しました。 Bojiongは、国内市場と国際的な市場の両方の顧客を心から招待して、私たちと協力して一緒に輝きを達成します。


FIS4 UV波面センサーの中心には、Bojiongの画期的なランダム化されたコーディング4波回折技術があります。この先駆的なテクノロジーは、最小限の光源コヒーレンスがある場合でも、後部焦点面での干渉を可能にし、光源のコヒーレンスに対する制約を大幅に削減し、位相シフトの要件を効果的に排除します。高度な紫外線イメージングシステムと統合されたFis4 UV波面センサーは、リアルタイムの波面測定機能を提供し、例外的な振動抵抗と堅牢性を示します。印象的なことに、振動分離システムがなくてもナノメートルスケールの精度を達成します。この機能は、多様で厳しい環境での高精度測定の新しい可能性を開きます。 Bojiong Optoelectronicsは、光学性能の測定と分析に革命をもたらすように設定されており、正確さと効率の前例のない時代に業界を導きます。 FIS4 UV波面センサーは、正確性と運用を容易にするために新しいベンチマークを設定することにより、研究者と産業が光学革新の境界を押し広げることができます。

 

仕様 :

 

光源タイプ

連続レーザー、パルスレーザー、LED、ハロゲンランプ、およびその他のブロードバンド光源

波長範囲

200nm〜400nm 

ターゲットサイズ

13.3mm×13.3mm

空間解像度

26 m m

位相出力解像度

512×512

絶対精度

10nmrms

位相解決

≤2NMRMS

ダイナミックレンジ

≥90μm

サンプリングレート

32fps

リアルタイム処理速度

5Hz(フル解像度)

インターフェイスタイプ

USB3.0

寸法

70mm×46.5mm×68.5mm

重さ

約240g

冷蔵方法

なし

 

 

Bojiong Fis4 UV波面センサーの機能

 

 

 

◆UVスペクトル200nm〜400nmバンド

◆2nm RMS高位相解像度

◆国内で100%開発されました

◆シングルパスライトの自己干渉、参照ライトは必要ありません

◆非常に強い振動抵抗、光振動分離の必要はありません

◆レーザー干渉フリンジ抑制設計付き

◆サポートコリメートビーム、高いNA非総合ビーム

 

  Bojiong Fis4 UV波面センサーの適用

 

このBojiong Fis4 UV波面センサー光学システム異常測定、光学システムキャリブレーション、フラット(ウェーハ)表面形状測定、光球面表面形状測定など

 

レーザービーム波面検出

適応光学Zernikeモードの波面検出応答

光学システムの異常測定の例

 

光学システムのキャリブレーション測定の例

 

ウェーハ表面粗さの測定の例

 

マイクロエッチング形態測定 - 欠陥サンプル1#-114ライン

 

 

BOJIONG FIS4 UV波面センサーの詳細

 

Bojiong Fis4 UV Wavefrontセンサーは、Zhijiang UniversityとSingaporeのNanyang Technological Universityの教授チームによって開発されました。 512×512(262144)位相ポイントの超高解像度で、200nmから400nmの帯域で高精度の波面測定を実現できます。光学システム異常測定、光学システムのキャリブレーション、平面(ウェーハ)表面測定、光球面表面測定などに使用できます。

FIS4 UVは、特許取得済みのランダムコード化された4波回折技術とUVカメラを組み合わせて、リア画像プレーンの位置に干渉します。光源のコヒーレンスの要件が低く、位相シフトは必要ありません。 UVイメージングシステムでリアルタイムの波面測定を実現できます。超高振動抵抗と超高安定性を持ち、振動分離なしでNMレベルの精度測定を実現できます。

 

 

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