紫外線四波干渉計センサー

BOJIONG オプトエレクトロニクスは常に波面干渉検出技術に注力してきましたが、現在は新世代の紫外 4 波干渉センサーを導入し、大学や研究機関に優れたソリューションを提供しています。当社の製品とサービスは、光学製造、航空宇宙、生物医学、エネルギー研究で広く使用されており、お客様が光学性能の正確な測定と分析を行って製品の品質と生産効率を向上させるのに役立ちます。近年では生産規模を拡大し続け、技術力を強化し、総合的な企業運営体制を確立してきました。 BOJIONG は、国内外の市場のお客様を心から歓迎し、一緒に輝きを実現するために協力してください。

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製品説明

紫外線 4 波干渉センサーには、当社独自のランダム化コーディング 4 波回折技術が組み込まれており、光源のコヒーレンス要件を最小限に抑えながら後焦点面での干渉を可能にし、位相シフトの必要性を排除します。紫外線イメージング方式によりリアルタイム波面計測が可能で、耐振動性と安定性に優れ、防振材を使用しなくてもナノメートルレベルの高精度計測が可能です。 BOJIONG Optoelectronics は、光学性能の測定と分析の標準を再定義し、業界を精度と効率の新時代に導く準備ができています。

アイテムの仕様

商品名	紫外線四波干渉計センサー
波長範囲	200nm～450nm
ターゲットサイズ	13.3mm×13.3mm
空間解像度	26μm
サンプリング解像度	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm（256分）
サンプリングレート	32fps
リアルタイム処理速度	10Hz（フル解像度）
インターフェースの種類	USB3.0
寸法	70mm×46.5mm×68.5mm
重さ	約240g

BOJIONG 紫外線 4 波干渉計センサーの特徴

◆UVスペクトル 200nm～450nm帯

◆512×512(262144)位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームと高NA非平行ビームに対応

BOJIONG 紫外線 4 波干渉センサーの応用

このBOJIONG紫外四波干渉計センサーは、光学系の収差測定、光学系の校正、平面（ウェーハ）表面形状測定、光学球面形状測定などに使用されます。

レーザー光波面検出

補償光学ゼルニケモードの波面検出応答

光学系の収差測定例

光学系校正測定例

ウェーハ表面粗さ測定例

マイクロエッチング形状測定 - 欠陥サンプル1# - 114ライン

BOJIONG 紫外線 4 波干渉計センサーの詳細

BOJIONG 紫外線 4 波干渉計センサーは、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許取得済み技術により、回折と干渉を組み合わせて、優れた検出感度と耐衝撃性を備えた共通の 4 波横方向せん断干渉を実現します。 -防振性能に優れ、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレームレートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。

FIS4 各シリーズの製品の技術パラメータ

製品	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 クロック	FIS4-HS	FIS4 セル	FIS4-NIR
波長範囲	200～450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900～1200nm
ターゲットサイズ mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
空間解像度	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
画像ピクセル	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
位相出力分解能	512×512 （262144ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）	420×420（176400ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm （256分）	110μm （150分）	162μm （256分）	132μm （210分）	110μm （150分）	270μm （256分）
サンプリングレート	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
リアルタイム処理速度	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)遅延バッチ処理をサポート	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)
インターフェースの種類	USB3.0	チョップ	USB3.0	チョップ	チョップ	USB3.0
外部インターフェース	-	-	-	-	Cポート	-
サイズ mm²	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5
重さ	約240g	約120g	約240g	約120g	約120g	約240g

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