512×512（262144）位相点の超高分解能により、900nm～1200nm帯の高精度波面測定を実現。光学系収差測定、光学系校正、材料内部格子分布測定、メタサーフェス、スーパーレンズなどに利用可能波面測定、など。
FIS4-NIR 近赤外線 4 波干渉計センサーは、特許取得済みのランダム コード化された 4 波回折技術と赤外線カメラを組み合わせており、後方像面位置で干渉します。光源のコヒーレンスに対する要件は低く、位相シフトは必要ありません。通常のイメージング システムで干渉測定を実現できます。超高耐振性と超高安定性を備え、防振なしでnmレベルの高精度測定が可能です。
主な特長
◆ 512×512 (262144) 位相ポイントの超高解像度
◆ 単一光路光の自己干渉により参照光は不要
◆900nm～1200nm帯の広帯域スペクトル
◆ 2nm RMS の高い位相分解能
◆ 最大270μmの広いダイナミックレンジ
◆非常に強い耐振性を持ち、光学防振が不要です。
◆イメージングのような簡単かつ迅速な光路構築
◆平行ビームと大NA収束ビームをサポート
製品の用途
光学系収差測定、光学系校正、材料内部格子分布測定、メタサーフェス、スーパーレンズ波面測定。
