超高速4波干渉型センサー

長年にわたり、当社は波面干渉検出に専念してきました。 BOJIONG オプトエレクトロニクスは、新世代の超高速 4 波干渉計センサーを大学や研究機関に提供します。当社の製品とサービスは、光学製造、航空宇宙、生物医学、エネルギー研究の分野で広く応用されており、お客様が光学性能の正確な測定と分析を実施して製品の品質と生産効率を向上させるのを支援します。近年、私たちは継続的に生産能力を拡大し、技術力を強化し、健全な企業運営メカニズムを確立しました。国内外のお客様からの誠実な協力を歓迎し、一緒に輝きを創造します。

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製品説明

BOJIONG 超高速 4 波干渉センサーは、最大 107 フレーム/秒のリアルタイム波面解析速度を備え、従来の干渉測定技術の能力をはるかに超えており、動的環境での迅速な測定に適しています。

そのスペクトル応答範囲は 400 ～ 1100 ナノメートルをカバーしており、さまざまな光源条件に適応でき、さまざまなアプリケーションシナリオでの適用性が向上します。現在では、高速工業検査、国防技術研究、精密科学研究分野において欠かせないツールとなっています。

商品仕様:

商品名	超高速4波干渉型センサー
波長範囲	400nm～1100nm
ターゲットサイズ	10.24mm×10.24mm
空間解像度	24.4μm
サンプリング解像度	420×420（176400ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS
ダイナミックレンジ	132μm（210λ）
サンプリングレート	107fps
リアルタイム処理速度	10Hz（フル解像度）
インターフェースの種類	遅延バッチ処理をサポート
寸法	チョップ
重さ	56.5mm×43mm×41.5mm
波長範囲	約120g

BOJIONG 超高速 4 波干渉計センサーの特徴：

◆420×420（176400）位相点の超高解像度

◆サンプリングフレームレート最大107fps

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆400nm～1100nm帯の広帯域スペクトル

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームや大NA収束ビームにも対応

BOJIONG 超高速 4 波干渉計センサーのアプリケーション：

この BOJIONG 超高速 4 波干渉センサーは、ウェーハ表面粗さの検出、シリコンベースおよびガラス基板の微細形態測定、空気力学光学、高速流れ場、ガスプラズマ密度測定に使用されます。

レーザー光波面検出

光学式平面形状測定

ウェーハ表面粗さ測定例

再構成波面グラフ測定例

ガスプラズマ密度測定光路

高解像度 4 波干渉計センサーの詳細

BOJIONG 高解像度 4 波干渉計センサーは、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許取得済み技術により、回折と干渉を組み合わせて、優れた検出感度と優れた検出感度を備えた共通の 4 波横方向せん断干渉を実現します。防振性能が高く、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレームレートが示されています。

同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。

FIS4 各シリーズの製品の技術パラメータ

製品	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 クロック	FIS4-HS	FIS4-セル	FIS4-NIR
波長範囲	200～450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900～1200nm
ターゲットサイズ mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
空間解像度	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
画像ピクセル	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
位相出力分解能	512×512 （262144ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）	420×420（176400ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm （256分）	110μm （150分）	162μm （256分）	132μm （210分）	110μm （150分）	270μm （256分）
サンプリングレート	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
リアルタイム処理速度	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)遅延バッチ処理をサポート	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)
インターフェースの種類	USB3.0	チョップ	USB3.0	チョップ	チョップ	USB3.0
外部インターフェース	-	-	-	-	Cポート	-
サイズ mm²	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5
重さ	約240g	約120g	約240g	約120g	約120g	約240g

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