の横四波せん断干渉ランダム符号化混合格子に基づく波面検出システムは、主にランダム符号化混合格子とCCDで構成されます。このうち、ランダム符号化混合格子には、図1に示すように、振幅符号化格子とチェスプレート位相格子が含まれます。検出される波面は、ランダムコーディングされたハイブリッドグレーティングによって回折され、直交する2つの方向はそれぞれ±1次回折光を生成します。最後に、4 つの回折光は伝播過程で互いに位置がずれて干渉し、CCD がシアー インターフェログラムを受信するために使用されます。
イチジク。 1 ランダムコーディングされたハイブリッド回折格子に基づく 4 波横方向せん断干渉システム
CCD 像面上で得られるインターフェログラムは、互いに直交する 2 つの方向の横シアー インターフェログラムです。スペクトル図はフーリエ変換によって得られ、直交する 2 方向の +1 レベルのスペクトルがそれぞれフィルタリングされます。次に、逆フーリエ変換を適用して、これら 2 つの方向のシア微分インターフェログラムをそれぞれ抽出します。最後に、検出される波面は微分ゼルニックフィッティングによって再構成できます。
理想横四波せん断干渉では、格子の回折フィールドに等しい光強度が 4 次のみ存在する必要があります。したがって、所望の理想的な回折スペクトルに基づいて、フラウンホーファーの回折原理と光束によって制約されるランダムコーディング法に従って、振幅符号化格子と位相格子からなるランダム符号化ハイブリッド格子を得ることができる。さらに、入射ビームの口径、格子距離、観察距離は、せん断速度と波面測定結果に影響を与え、研究プロセスで考慮する必要がある横せん断干渉システムの重要なパラメータです。
ランダム符号化ハイブリッド回折格子を 4 波横せん断干渉波面検出用に提案します。回折光フィールドには 4 つの等しい強度レベルのみが存在し、これにより 4 波の横方向せん断干渉が良好に実現されます。ランダム符号化ハイブリッド格子の設計原理と格子間隔などのシステムパラメータを決定する方法を詳細に紹介します。ランダム符号化ハイブリッド格子のフラウンホーファー回折次数分布はコンピュータシミュレーションによって得られ,MHMおよび位相格子と比較して,4波横せん断干渉におけるランダム符号化ハイブリッド格子の明らかな利点を示した。実験では、ランダムコード化ハイブリッド格子の遠視野回折フィールドには同じ強度のスポットが 4 つだけ存在し、ランダムコード化ハイブリッド格子に基づく 4 波横シア インターフェログラムが安定しており、周期的なテーバー効果を生じないことが確認されました。観察距離の変化に応じて歪み波面を検出でき、クロスグレーティング横シア干渉計と比較して任意の歪み波面検出が可能です。
フラウンホーファー回折場にはレベルが 4 つしかなく、4 波の横方向せん断干渉が十分に実現されています。したがって、横四波シアー干渉計ランダム符号化ハイブリッド回折格子に基づくこの格子は、構造がコンパクトで、機器の調整が簡単で、干渉縞が安定しているだけでなく、任意の波面歪みを検出できます。写真投影対物レンズの波面センシングや波面収差測定に使用できます。
