UHR 超高解像度波面センサー

BOJIONG UHR 超高解像度波面センサーは、特許取得済みのランダムコーディング 4 波回折技術を利用して、後部像面位置での単一チャネル波面自己干渉を促進します。このセンサーは光源からのコヒーレンスを最小限に抑え、位相シフトの必要性を排除するため、標準のイメージング システムで干渉測定を実行できるようになります。超高い耐振動性と安定性が特徴で、防振台を必要とせずにナノメートルレベルの高精度測定を実現します。マイクロレンズ アレイのハルトマン センサーと比較すると、BOJIONG UHR 超高解像度波面センサーは、より多くの位相点、より広い適応帯域幅、より広いダイナミック レンジ、およびよりコスト効率の高いソリューションを提供します。

超高解像度 4 波干渉計センサー仕様：

超高解像度 4 波干渉計センサーの特徴：

◆400nm～1100nm帯の広帯域スペクトル

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆512×512 (262144) 位相ポイントの超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆超高耐振性、光学防振不要

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームや大NA収束ビームにも対応

超高解像度四波干渉センサーの応用：

このBOJIONG超高解像度四波干渉計センサーは、レーザービーム波面検出、補償光学、表面形状測定、光学システム校正、光学窓検出、光学面、球面形状測定、表面粗さ検出に使用されます。

高解像度 4 波干渉計センサーの詳細

浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発されたBOJIONG UHR超高解像度波面センサーは、国内の特許技術を利用して回折と干渉を融合し、4波の横方向せん断干渉を実現します。このセンサーは、優れた検出感度と耐振動性で知られており、防振を必要とせずにリアルタイムの高速動的干渉法を可能にし、リアルタイム測定フレームレートは 10 フレーム/秒を超えています。

このシステムの一部である FIS4 センサーは、200nm から 15μm の測定範囲に及び、260,000 の位相点に相当する 512×512 の超高位相分解能を誇ります。 1/1000λ (RMS) より優れた測定再現性を実現し、2nm の感度を備えています。このセンサーは、レーザービーム品質分析、プラズマ流れ場検出、リアルタイム高速流れ場分布測定、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル測定、生体細胞の定量的位相イメージングなどのアプリケーションに最適です。