紫外線波面分析装置

この紫外線波面分析装置は、512×512 ピクセル (262,144 位相点) の解像度を誇り、後部焦点面で干渉測定を実行できます。この技術では、光源のコヒーレンス レベルが低いことが必要であり、位相シフトの必要がありません。紫外線イメージング システムを使用すると、デバイスはリアルタイムの波面測定を実現できます。優れた耐振動性と安定性を備えており、防振設備を必要とせずにナノメートルレベルの測定精度を実現します。

商品仕様:

BOJIONG 紫外線波面分析装置の特徴

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆UVスペクトル 200nm～450nm帯

◆512×512(262144)位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームと高NA非平行ビームに対応

 BOJIONG 紫外線波面分析装置の応用

このBOJIONG紫外線波面分析装置は、光学系の収差測定、光学系の校正、平面（ウェーハ）表面の形状測定、光学球面の形状測定などに使用されます。

BOJIONG 紫外線波面アナライザーの詳細

BOJIONG 紫外線波面分析装置は、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許取得済み技術により、回折と干渉を組み合わせて、一般的な 4 波の横方向せん断干渉を実現し、優れた検出感度と耐振動性能を備えています。 、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレーム レートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。