ポータブル3Dマイクロトポグラフィー検査

ポータブル 3D マイクロ トポグラフィー検査では、複数のレンズを切り替えて広い視野と高解像度を提供できるだけでなく、オンサイトとオフサイトの両方での迅速なセットアップも可能にします。ポータブル三脚設計により、屋内と屋外の両方での迅速な展開が容易になります。ダンピングジンバルと微調整機構を組み合わせることで、120°ピッチ、360°回転の粗微調整が可能となり、広範囲で高精度な検出能力を確保します。せん断微分干渉技術を利用することで、このシステムはダイナミック レンジが大きくなり、アプリケーションの範囲が広がります。

BOJIONG ポータブル 3D マイクロトポグラフィー検査仕様

BOJIONG ポータブル 3D マイクロトポグラフィー検査の特徴

◆基準面が無いので耐振性に優れています。

◆多対物レンズ切り替え、広い視野、高解像度

◆オフサイトおよびオンサイトの迅速なレイアウト アプリケーション テスト

◆多角度の粗調整と微調整により、広範囲の高精度検出を保証します。

◆高いコストパフォーマンス、コンパクトな構造、簡単な操作性

◆強力なデジタル波面再構成画像処理ソフトウェアパッケージ

 BOJIONG ポータブル 3D 微細地形検査の応用

この BOJIONG ポータブル 3D マイクロ地形検査は、光窓の設置、調整、検出に適しています。

BOJIONG ポータブル 3D マイクロトポグラフィー検査の詳細

BOJIONG ポータブル 3D マイクロトポグラフィー検査検査では、デュアルカメラ画像システムが使用されます。このシステムは、顕微鏡システムを使用して光学部品の表面の傷欠陥を検出し、幅、深さ、表面粗さを検出します。

画像カメラは広い視野を持ち、表面の欠陥を迅速に発見し、傷の幅を検出できます。デジタル波面干渉センサーは、傷の深さの 3D 検出を実現できます。

このシステムには、XYZ 3 次元ガイド調整とピッチおよびヨー調整が装備されており、ターゲットと装置の検出光軸の位置合わせを実現でき、三脚に設置して、大型の検出ターゲットなどのさまざまな検出ターゲットを達成できます。 -直径の光窓と大口径の光学素子。あらゆる方向の調整検出。

このシステムはコモンパス干渉技術を採用しています。この干渉システムは優れた耐振動性と耐外部干渉特性を備えているため、作業場や屋外などの環境での測定および検出に特に適しています。この干渉センサーを用いて当社が開発した表面形状検出干渉計および微細構造検出表面形状計は、関連装置に採用されており、その精度はZygo干渉計と同等の指標に達しています。