垂直四波動的干渉計

垂直 4 波動的干渉計 LPI-100 は、1 秒あたり最大 15 フレームのレートでリアルタイムの動的測定が可能で、4 波の共通経路シアリングを通じて 100 mm の開口部内の平面光学要素の表面形状情報を正確に取得します。テクノロジーと干渉パターンの復調。この干渉計はユーザーフレンドリーで、迅速に導入でき、動作の信頼性が高く、測定精度も高くなっています。光学加工会社、学術機関、計測部門、科学組織の研究者、科学論文を執筆する専門家に信頼できるデータ サポートを提供し、仕事において非常に貴重なツールとなっています。

アイテムの仕様

BOJIONG 垂直四波動的干渉計の特徴

◆最大15フレームのリアルタイムダイナミック測定

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆262144位相点の超高分解能

◆共通チャネル自己干渉の原理に基づいて、この装置は参照ミラーを必要とせず、強力な干渉能力を備えており、通常の工場環境でも平面の正確な検出を実現できます。

◆リアルタイムの動的検出を実現可能、15フレーム/秒の動的検出を実現可能

◆独立した知的財産権を有し、費用効果が高く、調整が簡単で、コンパクトな構造

 BOJIONG 垂直四波動的干渉計の応用

この BOJIONG 垂直 4 波動的干渉計には、FIS4 4 波干渉計センサーが装備されており、このデバイスは標準的な平面ミラーの形状を正確に検出できます。付属のソフトウェア処理システムは、テストされたコンポーネントの表面の PV 、 RMS 、および POWER 値を出力します。

BOJIONG 垂直 4 波動的干渉計の詳細

BOJIONG 平面四波動的干渉計の全体レイアウト図

BOJIONG 垂直 4 波動的干渉計は、照明光源モジュール、二次ビーム拡大モジュール、キャリア モジュール、サンプル アライメント用のスポット集束モジュール、表面検出用の干渉センサー モジュールなど、いくつかの主要な機能モジュールで構成されています。サンプルの形状。

このシステムの光源モジュールは、中心波長 632.8 nm のヘリウムネオン ガス レーザーを利用し、干渉計に正確で安定した光源を提供します。

2次ビーム拡張モジュールはビーム径を100mmまで拡大できるように設計されており、検査が必要な大口径光学部品との互換性を確保します。

ステージセクションは、平坦な結晶、単投ウェハ、窓チップ、平面反射鏡などのさまざまな平面光学部品をテスト対象に配置するためのプラットフォームとして機能します。ステージには、サンプルの位置を正確に制御するための X 軸および Y 軸のハンドルが装備されており、装置から発せられる光スポットが試験サンプルの表面を完全にカバーします。さらに、2 つの調整ノブがステージに組み込まれており、サンプルの傾きを微調整して、テスト面を光軸に対して垂直に調整します。

イメージング システムはデュアル カメラ セットアップを備えています。 1 台のカメラはスポット集束モジュールを形成する光学イメージング カメラで、サンプルの位置合わせを支援します。サンプルのリターンスポットの位置をリアルタイムで観察することで、サンプルを調整して測定の精度を確保できます。もう一方のカメラパスには、試料の表面形状を検出する干渉センサーモジュールを構成するFIS4 4波干渉センサーが装備されています。コモンパス干渉縞を捕捉することにより、テストサンプルの表面トポグラフィーに関するリアルタイムの 3 次元フィードバックが提供されます。デュアルカメラシステムは同時に動作できるため、測定プロセスの効率と精度が向上します。

プロフェッショナルソフトウェアモジュール

◆このデバイスには、「垂直四波動的干渉計」用に設計された専用ソフトウェアが搭載されており、測定した光学素子の表面のリアルタイム 3D 画像を表示および出力できるほか、測定した光学素子の PV、RMS、POWER 値を提供できます。測定された表面。

◆さらに、このソフトウェアは生の測定データをエクスポートする機能を備えており、さまざまな研究活動に重要な定量分析のサポートを提供し、ユーザーがその後のデータ分析や研究作業を簡単に実行できるようにします。