超高速波面センサー

Bojiong は光学検出技術分野のパイオニアとして、長年にわたり波面センサー分野に深く関与し、顧客のニーズを満たす超高速波面センサーを発売しました。深い専門知識と技術への深い理解により、当社は光学製造、航空宇宙、生物医学研究、エネルギー研究などの主要分野に高度な波面干渉測定ソリューションを提供します。

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製品説明

流れ場および風洞試験では、超高速検出装置が必要になります。 Bojiong は超高速波面センサーを導入しました。この装置は、超高耐振性、超高安定性、超高速撮像機能を備えており、防振を必要とせずにナノレベルの高精度測定を可能にします。光源のコヒーレンスに対する要件は低く、位相シフトは必要ありません。干渉測定は、通常のイメージングシステムを使用して実行できます。

商品仕様:

商品名	超高速波面センサー
波長範囲	400nm～1100nm
ターゲットサイズ	10.24mm×10.24mm
空間解像度	24.4μm
サンプリング解像度	420×420（176400ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS
ダイナミックレンジ	132μm（210λ）
サンプリングレート	107fps
リアルタイム処理速度	10Hz（フル解像度）
インターフェースの種類	遅延バッチ処理をサポート
寸法	チョップ
重さ	56.5mm×43mm×41.5mm
波長範囲	約120g

BOJIONG 超高速波面センサーの特徴

◆420×420（176400）位相点の超高解像度

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆サンプリングフレームレート最大107fps

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆400nm～1100nm帯の広帯域スペクトル

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームや大NAの収束ビームに対応

BOJIONG 超高速波面センサーの応用

このBOJIONG超高速波面センサーは、ウェーハ表面粗さ検出、シリコンベースおよびガラス基板の微細形態測定、空気力学光学、高速流れ場、ガスプラズマ密度測定に使用されます。

レーザー光波面検出

光学式平面形状測定

ウェーハ表面粗さ測定例

再構成波面グラフ測定例

ガスプラズマ密度測定光路

BOJIONG 超高速波面センサーの詳細

BOJIONG 超高速波面センサーは、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許技術により、回折と干渉を組み合わせて、一般的な 4 波の横方向せん断干渉を実現し、優れた検出感度と耐衝撃性を備えています。 -防振性能に優れ、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレームレートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。

FIS4 各シリーズの製品の技術パラメータ

製品	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 クロック	FIS4-HS	FIS4 セル	FIS4-NIR
波長範囲	200～450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900～1200nm
ターゲットサイズ mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
空間解像度	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
画像ピクセル	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
位相出力分解能	512×512 （262144ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）	420×420（176400ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm （256分）	110μm （150分）	162μm （256分）	132μm （210分）	110μm （150分）	270μm （256分）
サンプリングレート	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
リアルタイム処理速度	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)遅延バッチ処理をサポート	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)
インターフェースの種類	USB3.0	チョップ	USB3.0	チョップ	チョップ	USB3.0
外部インターフェース	-	-	-	-	Cポート	-
サイズ mm²	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5
重さ	約240g	約120g	約240g	約120g	約120g	約240g

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