レーザー平面干渉計

レーザー平面干渉計 (LPI-100) は、最大 15 フレーム/秒のリアルタイム動的測定速度を備えており、100 mm 開口部内の平面光学素子の表面形状をリアルタイムで検出できます。測定要素の表面形状情報を運ぶビームは、特別にエンコードされた回折格子を通って回折され、波面を横方向に 4 つの部分に分けて、4 つの波面を持つ共通パス シェアリング 2 次元干渉パターンを形成します。この２次元干渉を復調することで、素子の表面形状情報を得ることができる。

商品仕様:

BOJIONG レーザー平面干渉計の特徴

◆最大15フレームのリアルタイムダイナミック測定

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆262144位相点の超高分解能

◆リアルタイムの動的検出を実現可能、15フレーム/秒の動的検出を実現可能

◆独立した知的財産権を有し、費用対効果が高く、調整が簡単で、コンパクトな構造

◆共通チャネル自己干渉の原理に基づいて、この装置は参照ミラーを必要とせず、強力な干渉能力を備えており、通常の工場環境でも平面の正確な検出を実現できます。

Application Of BOJIONG Laser Planar Interferometer

このBOJIONGLaser平面干渉計には、標準的な平面ミラー形状を検出するためのFIS4 4波干渉計センサーが装備されており、処理ソフトウェアはテストされたコンポーネントの表面のPV値、RMS値、およびPOWER値を出力します。

BOJIONG レーザー平面干渉計の詳細

BOJIONG 平面四波動的干渉計の全体レイアウト図

BOJIONG レーザー平面干渉計の機能モジュールは、照明光源モジュール、二次ビーム拡張モジュール、キャリア モジュール、サンプルの姿勢調整を支援するスポット集束モジュール、サンプル表面形状検出用の干渉センサー モジュールに分けることができます。 。

システムの光源モジュールには、中心波長632.8nmのガスヘリウムネオンレーザーを採用しています。

二次ビーム拡張モジュールはビームサイズを100mmまで拡張し、大口径検出の要件を満たします。

ステージセクションは、平面結晶、単焦点ウェーハ、窓チップ、平面反射鏡などのテスト対象の平面光学部品を配置するために使用されます。ローディングステージには、サンプルの移動を制御するための X および Y 方向に移動するハンドルが装備されています装置の放射光スポットが試験サンプルの表面を完全に覆うように、ステージに設置します。同時にステージ上にはサンプルの傾斜姿勢を調整するための2つのノブも設置されています。これらのノブを調整することにより、テスト面が光軸に対して垂直になります。

撮像システムはデュアルカメラシステムを搭載。そのうちの 1 つは、光学イメージング カメラを使用して、サンプルの姿勢調整を支援するスポット集束モジュールを形成します。サンプルの戻りスポット位置をリアルタイムに観測することでサンプルの姿勢を調整し、測定精度を確保します。もう 1 つの経路には、FIS4 4 波干渉センサーが装備されており、サンプル表面形状検出用の干渉センサー モジュールを形成しています。共通光路干渉縞を記録することにより、試験サンプルの表面上の 3 次元情報のリアルタイム フィードバックを実現できます。デュアルカメラシステムは同時に動作できます。

プロフェッショナルソフトウェアモジュール

◆「レーザー平面干渉計」ソフトウェアを搭載し、測定した光学素子平面の3D画像、測定面の出力PV値、RMS値、POWER値をリアルタイムに表示・出力できます。

◆同時に、このソフトウェアは測定結果の生データのエクスポートをサポートし、さまざまな研究のための定量的な検出データのサポートを提供し、ユーザーが将来のデータ分析と研究を容易に実行できるようにします。