シリコン ウェーハやサファイア ウェーハなどの大型テスト コンポーネントの場合、AOI1000 光学コンポーネント表面欠陥検出器は、最大 0.5 マイクロメートルの検出分解能と 1000 mm x 600 mm の最大検査開口を提供します。このデバイスは、米国軍事規格 MIL-PRF-13830A/B および国際規格 ISO 10110-7 を含むレポート形式でレポートを自動生成できます。
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商品名 |
AOI1000 光学部品表面欠陥検出器 |
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最大検出サイズ |
1000mmX600mm |
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検出分解能 |
0.5μm |
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検出方法 |
暗視野アレイ走査イメージング |
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レポートの出力 |
国家規格、米軍規格、カスタマイズされた企業レポート。 |
AOI1000 光学部品表面欠陥検出器は、マシンビジョン技術を使用して、シリコンウェーハやサファイアウェーハなどの部品の表面欠陥を自動で高速かつ高精度に検出し、外観検査における低効率と低精度の問題に効果的に対処します。 。最高の検出分解能は 0.5 マイクロメートルに達し、最大検出開口は 1000mm x 600mm にもなります。イメージング技術には、環状照明と微小散乱暗視野イメージングが含まれます。このデバイスは、米国軍事規格 MIL-PRF-13830A/B や国際規格 ISO 10110-7 など、さまざまな形式でレポートを自動生成できます。
光学部品、光学窓ウェーハ、シリコンウェーハ、サファイアウェーハなどの表面欠陥の品質管理に適しています。
塗装欠陥：剥離、塗装損傷等
研磨欠陥：傷、穴、欠け、気泡、汚れなど。
この装置は次の種類の欠陥に対処できます。
◆マルチビーム環状照明
◆ 高倍率および低倍率オプションによる可変倍率イメージング
◆ 0.5μmの検出精度
◆ プレート全体のマルチウェーハ検出
◆リニアモーターによる高速イメージング
◆FFU（ファンフィルターユニット）を搭載し、内部クリーンを確保
マルチビーム環状結像照明
1Xから8Xまでの自動ズーム顕微鏡。
プレート全体の調整可能な迅速なクランプ。
高精度2Dリニアモーターにより速写精度を確保。
軍事標準のスプレッドシート出力
テスト結果表示
塗装面のキズ。
傷
レーザーダメージスポット 1
レーザーダメージスポット 2
ナノスケール微粒子ポイント
ファイバ
成分の潮解性
膜層の損傷
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AOI450 光学部品表面欠陥検出器AOI1000 光学部品表面欠陥検出器 |
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アイテム |
説明 |
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モデル |
AOI1000 |
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機器の機能 |
超平滑面の平面光学部品の欠陥を定量的に検出し、米軍規格、国家規格、国際規格などの検出結果に応じた電子レポートを出力します。 |
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最大検出サイズ |
1000mmX600mm |
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検出精度 |
低倍率5μm、高倍率0.5μm |
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クランプ方式 |
プレート全体のクランプまたは単体のクランプ、角型および丸型のクランプをサポートします。 |
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レベリング方法 |
プレート全体の素材が自動焦点調整、電動レベリングをサポートします。 |
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撮影方法 |
国家標準 GB/T 41805-2022 に記載されている「光学部品の表面欠陥の定量的検出方法 - 微小散乱暗視野イメージング法」に準拠した環状照明、微小散乱暗視野イメージング。 |
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検出方法 |
低倍率スキャンステッチ、高倍率位置決め定量化。 |
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スキャン機構 |
2Dリニアモーター、ストローク150mm×150mm。 |
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カメラパラメータ |
大型ターゲットカメラ、500万画素。 |
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レポート形式 |
Excel、Word 形式、米軍規格、国家規格、国際規格、または企業統計レポート。 |
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産業用 PC 構成 |
i7プロセッサ、32GBメモリ、1Tハードディスク、6GBビデオメモリ。 |
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装置の寸法 |
900mm × 800mm × 2000mm (長さ × 幅 × 高さ) |
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電源電圧 |
220V±10% |
住所
中国上海市楊浦区営口路578号
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