博江(上海)精密機械科技有限公司
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AOI1000 光学部品表面欠陥検出器
  • AOI1000 光学部品表面欠陥検出器AOI1000 光学部品表面欠陥検出器

AOI1000 光学部品表面欠陥検出器

大口径部品の自動検査ニーズに応え、BOJIONG は顧客の多様な自動化要件を満たすために AOI1000 光学部品表面欠陥検出器を導入しました。この装置は、シリコンウェーハおよびサファイアウェーハを自動で高速かつ高精度に検出することができ、手動による目視検査に伴う効率の低さや精度の低さの課題に効果的に対処できます。携帯電話画面やディスプレイ画面の表面欠陥の品質管理に適しています。ご質問や問題がございましたら、いつでもメールでお気軽にお問い合わせください。できるだけ早くご対応させていただきます。

シリコン ウェーハやサファイア ウェーハなどの大型テスト コンポーネントの場合、AOI1000 光学コンポーネント表面欠陥検出器は、最大 0.5 マイクロメートルの検出分解能と 1000 mm x 600 mm の最大検査開口を提供します。このデバイスは、米国軍事規格 MIL-PRF-13830A/B および国際規格 ISO 10110-7 を含むレポート形式でレポートを自動生成できます。

 

商品仕様:


商品名

AOI1000 光学部品表面欠陥検出器

最大検出サイズ

1000mmX600mm

検出分解能

0.5μm

検出方法

暗視野アレイ走査イメージング

レポートの出力

国家規格、米軍規格、カスタマイズされた企業レポート。

 

BOJIONG AOI1000 光学部品表面欠陥検出器の特徴



AOI1000 光学部品表面欠陥検出器は、マシンビジョン技術を使用して、シリコンウェーハやサファイアウェーハなどの部品の表面欠陥を自動で高速かつ高精度に検出し、外観検査における低効率と低精度の問題に効果的に対処します。 。最高の検出分解能は 0.5 マイクロメートルに達し、最大検出開口は 1000mm x 600mm にもなります。イメージング技術には、環状照明と微小散乱暗視野イメージングが含まれます。このデバイスは、米国軍事規格 MIL-PRF-13830A/B や国際規格 ISO 10110-7 など、さまざまな形式でレポートを自動生成できます。


AOI1000 光学部品表面欠陥検出器の応用分野




光学部品、光学窓ウェーハ、シリコンウェーハ、サファイアウェーハなどの表面欠陥の品質管理に適しています。

塗装欠陥:剥離、塗装損傷等

研磨欠陥:傷、穴、欠け、気泡、汚れなど。

この装置は次の種類の欠陥に対処できます。


◆マルチビーム環状照明

◆ 高倍率および低倍率オプションによる可変倍率イメージング

◆ 0.5μmの検出精度

◆ プレート全体のマルチウェーハ検出

◆リニアモーターによる高速イメージング

◆FFU(ファンフィルターユニット)を搭載し、内部クリーンを確保


マルチビーム環状結像照明



1Xから8Xまでの自動ズーム顕微鏡。


プレート全体の調整可能な迅速なクランプ。


高精度2Dリニアモーターにより速写精度を確保。


AOI インテリジェント検査ソフトウェア




軍事標準のスプレッドシート出力


テスト結果表示


塗装面のキズ。

 

 

レーザーダメージスポット 1

レーザーダメージスポット 2

 

ナノスケール微粒子ポイント

 

ファイバ

 

成分の潮解性

 

膜層の損傷


AOI1000 光学部品表面欠陥検出器のパラメータ

 

AOI450 光学部品表面欠陥検出器AOI1000 光学部品表面欠陥検出器

アイテム

説明

モデル

AOI1000

機器の機能

超平滑面の平面光学部品の欠陥を定量的に検出し、米軍規格、国家規格、国際規格などの検出結果に応じた電子レポートを出力します。

最大検出サイズ

1000mmX600mm

検出精度

低倍率5μm、高倍率0.5μm

クランプ方式

プレート全体のクランプまたは単体のクランプ、角型および丸型のクランプをサポートします。

レベリング方法

プレート全体の素材が自動焦点調整、電動レベリングをサポートします。

撮影方法

国家標準 GB/T 41805-2022 に記載されている「光学部品の表面欠陥の定量的検出方法 - 微小散乱暗視野イメージング法」に準拠した環状照明、微小散乱暗視野イメージング。

検出方法

低倍率スキャンステッチ、高倍率位置決め定量化。

スキャン機構

2Dリニアモーター、ストローク150mm×150mm。

カメラパラメータ

大型ターゲットカメラ、500万画素。

レポート形式

Excel、Word 形式、米軍規格、国家規格、国際規格、または企業統計レポート。

産業用 PC 構成

i7プロセッサ、32GBメモリ、1Tハードディスク、6GBビデオメモリ。

装置の寸法

900mm × 800mm × 2000mm (長さ × 幅 × 高さ)

電源電圧

220V±10%

 

 

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