超高速波面解析装置

BOJIONG は、中国における超高速波面分析装置の先駆的メーカーであり、光学検出技術の革新と開発の推進に専念しています。長年にわたる専門知識と技術力を活用して、当社は光学製造、航空宇宙、生物医学研究、エネルギー研究向けにカスタマイズされた正確な波面干渉検出ソリューションを提供します。当社の包括的な製品とサービスは、お客様が正確な光学性能の測定と分析を行えるようにするとともに、当社の絶え間ない技術進歩の追求により、製品品質の向上、生産プロセスの合理化、市場競争力の強化に貢献します。最近の生産能力の拡大、技術研究開発の取り組みの強化、堅牢な企業運営フレームワークの確立は、当社の製品を継続的に最適化およびアップグレードするという当社の取り組みを裏付けています。

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製品説明

フェムト秒レーザーや流れ場分析などのアプリケーション向けに、BOJIONG は後部焦点面で干渉を実行する超高速波面分析装置を特別に開発しました。光源のコヒーレンスに対する要件は低く、位相シフトは必要ありません。通常のイメージングシステムを使用して干渉測定を行うことができます。このデバイスは、超高耐振性、超高安定性、超高速イメージング機能、および防振を必要とせずにナノレベルの高精度測定を実現する機能を備えています。

商品仕様:

商品名	超高速波面解析装置
波長範囲	400nm～1100nm
ターゲットサイズ	10.24mm×10.24mm
空間解像度	24.4μm
サンプリング解像度	420×420（176400ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS
ダイナミックレンジ	132μm（210λ）
サンプリングレート	107fps
リアルタイム処理速度	10Hz（フル解像度）
インターフェースの種類	遅延バッチ処理をサポート
寸法	チョップ
重さ	56.5mm×43mm×41.5mm
波長範囲	約120g

BOJIONG 超高速波面分析装置の特徴

◆サンプリングフレームレート最大107fps

◆400nm～1100nm帯の広帯域スペクトル

◆420×420（176400）位相点の超高解像度

◆単一チャンネル光の自己干渉により参照光は不要

◆2nm RMS の高い位相分解能

◆光学防振が不要な非常に強力な防振性能。

◆イメージングと同じように、簡単かつ迅速な光路構築

◆平行ビームや大NA収束ビームにも対応

BOJIONG 超高速波面分析装置の応用

この BOJIONG 超高速波面分析装置は、ウェーハ表面粗さの検出、シリコンベースおよびガラス基板の微細形態測定、空気力学光学、高速流れ場、ガスプラズマ密度測定に使用されます。

レーザー光波面検出

光学式平面形状測定

ウェーハ表面粗さ測定例

再構成波面グラフ測定例

ガスプラズマ密度測定光路

BOJIONG 超高速波面アナライザーの詳細

BOJIONG 超高速波面分析装置は、浙江大学とシンガポールの南洋理工大学の教授チームによって開発され、国内の特許技術を使用して、回折と干渉を組み合わせて、一般的な 4 波の横方向せん断干渉を実現し、優れた検出感度と耐衝撃性を備えています。 -防振性能に優れ、防振なしでリアルタイムかつ高速な動的干渉計測を実現できます。リアルタイム測定では、10 フレームを超えるフレームレートが示されています。同時に、FIS4センサーは512×512（260,000位相ポイント）の超高位相分解能を備え、測定帯域は200nm～15μmをカバーし、測定感度は2nmに達し、測定再現性は1/1000λより優れています（ RMS）。レーザー光品質解析、プラズマ流場検出、高速流場分布のリアルタイム計測、光学系の画質評価、顕微鏡プロファイル計測、生体細胞の定量的位相イメージングなどに使用できます。

FIS4 各シリーズの製品の技術パラメータ

製品	FIS4-UV	FIS4-HR	FIS4 クロック	FIS4-HS	FIS4-セル	FIS4-NIR
波長範囲	200～450nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	400~1100nm	900～1200nm
ターゲットサイズ mm²	13.3×13.3	7.07×7.07	13.3×13.3	10.24×10.24	7.07×7.07	13.3×13.3
空間解像度	26μm	23.6μm	26μm	24.4μm	23.6μm	26μm
画像ピクセル	-	2048×2048	-	-	2048×2048	-
位相出力分解能	512×512 （262144ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）	420×420（176400ピクセル）	300×300（90000ピクセル）	512×512（262144ピクセル）
位相分解能	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS	＜2nmRMS
絶対精度	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS	10nmRMS	10nmRMS	15nmRMS
ダイナミックレンジ	90μm （256分）	110μm （150分）	162μm （256分）	132μm （210分）	110μm （150分）	270μm （256分）
サンプリングレート	32fps	24fps	45fps	107fps	24fps	45fps
リアルタイム処理速度	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)遅延バッチ処理をサポート	10Hz (フル解像度)	10Hz (フル解像度)
インターフェースの種類	USB3.0	チョップ	USB3.0	チョップ	チョップ	USB3.0
外部インターフェース	-	-	-	-	Cポート	-
サイズ mm²	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5	56.5×43×41.5	56.5×43×41.5	70×46.5×68.5
重さ	約240g	約120g	約240g	約120g	約120g	約240g

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